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総合化学各社、半導体材料を強化 感光材増産・新工場建設 （2020/3/6 素材・医療・ヘルスケア）
住友化学は、回路パターンを転写する露光工程用レジスト(感光材)などを増産。... 三菱ケミカルは、複数部門に散らばっていた半導体プロセス用洗浄剤や合成石英事業を半導体本部に統合する。....
住友化学、21年度に半導体材売上高1.5倍 EUVレジスト量産 （2020/2/27 素材・医療・ヘルスケア）
大阪工場(大阪市此花区)で回路パターンを転写する露光工程用レジスト(感光材)生産設備を拡充し、20年に本格稼働させる。... 大阪工場では、高機能な半導体の主要な製造プ...
