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記事検索結果
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「(主力の)静電チャックは常に先々の製品開発を提案し、要望を受けることが成長につながる」。
共和製作所(愛知県碧南市)は炭素繊維強化プラスチックを加工し、極端紫外線(EUV)露光装置の静電チャックを想定した部品を製作した。
静電チャックを製造する中津工場(大分県中津市)では次の需要期に向け、住設事業に先行して製造現場の自動化・無人化を進めており、効率化を図っている。
半導体回路を形成するエッチング装置に使う静電チャックなどの外周の面取り加工向けに提案する。 ... 主なワークはエッチング装置に使う静電チャック、フォーカスリング、シャワープレートを...
今は我慢の時期だが、成長軌道に乗れるよう静電チャック(ESC)の設備投資を決めた」 ―脱炭素の施策は。
住友大阪セメントは、市川事業所(千葉県市川市)において、半導体製造装置の主要部品である静電チャック(ESC)の生産能力増強と、新製造棟の建設に向けた...
12月完成予定の台湾第3工場のほか、国内拠点の能力増強も進める」 《液晶画面の大型化競争が加速した05年ごろには、溶射を受託していた液晶パネル製造装置用静電チャックの大型化への対応に...
半導体ウエハーの製造工程で使われる静電チャックの加工では、熟練者が時間をかけて行っていた位置決め作業の大幅な効率化を実現する。
レボメイトと静電チャックなどで、ここから伸びる半導体分野のシェア獲得を目指す」 ―グループ全体で「クロスセールス」が始まりました。
当社単独での取り組みに加え、例えば他のセメントメーカーとトラックを融通し合ったり、各社の拠点を巡回して運んだりする工夫も求められるかもしれない」 【記者の目/半導体向けES...
近年の半導体需要の拡大を受け、NTKセラテックでもウエハーを固定するための静電チャックをはじめ、耐熱性や耐腐食・摩耗性に優れた構造用セラミックス部品の受注が急増している。特に静電チャックには温度分布の...
クリエイティブテクノロジー/優しくつかむハンドツール クリエイティブテクノロジー(川崎市高津区)は、静電チャックや特殊樹脂パッ...
「半導体製造装置向け主要部品である静電チャック(ESC)の生産能力を2倍にすることを決めた。
住友大阪セメントは半導体製造装置の需要拡大を受け、主要部品の静電チャック(ESC)の生産能力を現状比2倍にする。
プロセスモジュールは最先端の誘導結合プラズマ(ICP)に対応し、静電チャック、排気システム、電極間隔可変機構を備えた。
「電気絶縁技術を応用したICパッケージ用リードフレーム固定テープや、半導体製造装置向けでシリコンウエハーを固定する静電チャックなどがある。... 「耐電圧・耐プラズマ性能を向上させた新型の静電チャック...
【長野】新光電気工業は4日、半導体市場の需要拡大に対応するため、長野県内に高性能半導体向けフリップチップタイプパッケージの新工場や、半導体製造装置部品のセラミック静電チャ...
【アルミナの10倍】 AINセラミックスはシリコンウエハーから熱を逃がすサセプターや静電チャックといった半導体製造装置用部品、電子基板に取り付けるLED素子下の基板、放熱樹脂(...
