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成膜速度100倍・コスト5分の1 東レ、超ハイバリアフィルム開発 （2022/4/28 素材・医療・ヘルスケア１）
高密度に蒸着可能な複合化合物膜の技術を高速蒸着技術に適用することで、一般的なスパッタ法に比べて成膜速度が100倍超に向上し、コストを5分の1以下に抑えた。... また、従来の蒸着技術は成膜速度に優れ低...
