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第66回十大新製品賞/本賞レーザーテック（2024/2/9 機械・ロボット・航空機）

URASHIMAはパターン付きマスクの検査を露光光源と同じEUVで行う同社の検査装置「ACTISシリーズ」に搭載される。パターン付きマスクの検査は露光光源と同じ波長の光を用いるアク...

2023年第66回十大新製品賞（2024/1/4 十大新製品賞）

パターン付きマスクの検査を露光光源と同じEUVで行う同社の検査装置「ACTISシリーズ」に搭載される。

レーザーテック/独自のEUV光源で欠陥検査（2023/12/25 新製品フラッシュ２）

レーザーテックは、自社開発の高輝度極端紫外線(EUV)プラズマ光源を標準搭載したEUV露光用マスクパターン欠陥検査装置「ACTIS A300」の受注を始めた...

レーザーテック、高輝度EUVで欠陥検出マスク検査装置を受注（2023/12/12 電機・電子部品・情報・通信１）

【横浜】レーザーテックは自社開発の高輝度極端紫外線(EUV)プラズマ光源を標準搭載したEUV露光用マスクパターン欠陥検査装置「ACTIS A300=...

半導体マスク欠陥、高感度検出レーザーテックが高輝度EUVプラズマ光源開発（2023/10/11 電機・電子部品・情報・通信）

レーザーテックは半導体向け極端紫外線(EUV)露光用パターン付きマスクの欠陥を高感度で検出できる高輝度EUVプラズマ光源「URASHIMA(ウラシマ)...

第62回十大新製品賞/日本力賞レーザーテック（2020/2/20 電機・電子部品・情報・通信１）

【アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置 ACTIS「A150」】 IoT(モノのインターネット)や人工知能(AI)、第5世代通信&#...

2019年第62回十大新製品賞（2020/1/6 十大新製品賞）

【レーザーテック/アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置 ACTIS「A150」】最先端の半導体加工技術である極端紫外線(EUV)露光用マ...

EUVでパターン欠陥検出レーザーテック、マスク検査装置を製品化（2019/10/16 電機・電子部品・情報・通信２）

【横浜】レーザーテックは、半導体加工技術の極端紫外線(EUV)露光用マスクパターンの欠陥を高い感度で検出するEUV欠陥検査装置「ACTIS A150=写真」を製品化した...