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レジスト原料事業で「世界の販売量予想を上回る(ペースで)増強を計画している」と話すのは、大阪有機化学工業取締役執行役員の本田宗一さん。 ArF&#...

特殊アクリル酸エステルの一つとしてArF(フッ化アルゴン)レジスト用モノマーを展開し、引き合いは好調。... ArFレジストの需要拡大とEUVレジストの進展を踏まえ、両レジスト用モノマ...

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