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原子力機構の価値 原子力の社会実装に向けて(72)中性子偏極スーパーミラー （2024/4/23 科学技術・大学）
この課題に取り組む中で、偏極スーパーミラーに用いられるFe/Ge(鉄/ゲルマニウム)多層膜では、Ge層の厚さが2ナノメートル以下になると磁化の消失が抑えられ、かつ軟...
産総研など、新構造トランジスタ開発 高速・省電力LSI実現へ （2020/12/10 科学技術・大学）
SiとGeの薄膜を上下に積層させる技術を確立し、開発につなげた。... 200度C以下でSi層とGe層を積層する接合技術を開発。積層工程と薄膜除去の工程を低温で行うことで、Si層やGe層へのダメージが...
