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東大など、次世代ＬＳＩに使う絶縁膜の欠陥を非接触で調べる手法開発
(2008/2/18 05:00)
東京大学大学院工学系研究科の尾嶋正治教授らの研究グループは、半導体理工学研究センター（ＳＴＡＲＣ）と...
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(2008/2/18 05:00)
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