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アルバック、ＰＺＴ膜をＭＥＭＳに低温形成できるスパッタリング技術を開発
(2015/3/26 05:00)
アルバックは２５日、圧電材料となるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）の薄膜を微小電気機械システム（ＭＥＭ...
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(2015/3/26 05:00)
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