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[ 人物 ]
(2016/3/22 05:00)
半導体製造におけるリソグラフィ(露光)プロセスの開発に従事してきた。微細な回路パターンを高い歩留まりで刻むために、膨大なシミュレーションを繰り返して最適な設計・露光条件・原版形状などを求工程が必要であり、この計算機リソグラフィと呼ばれる技術を担当。現在は次世代露光技術の開発にも携...
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(2016/3/22 05:00)
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