[ 人物 ]

凛としていきる・理系女性の挑戦/次世代露光技術の開発/東芝セミコンダクター&ストレージ社の小林幸子さん

(2016/3/22 05:00)

半導体製造におけるリソグラフィ(露光)プロセスの開発に従事してきた。微細な回路パターンを高い歩留まりで刻むために、膨大なシミュレーションを繰り返して最適な設計・露光条件・原版形状などを求工程が必要であり、この計算機リソグラフィと呼ばれる技術を担当。現在は次世代露光技術の開発にも携...

(残り:925文字/本文:1,065文字)

(2016/3/22 05:00)

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