２０１６真空展・紙上プレビュー（中）テクノポートほか

【超高真空駆動機構を展示−テクノポート】

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テクノポート（東京都台東区、０３・５８２５・３５５９）は、英ＵＨＶ　Ｄｅｓｉｇｎの超高真空駆動機構製品（写真）を中心に展示する。主な製品は、超高真空対応で、高トルクかつ磁場の漏れを防いだ高性能な回転導入機やトランスファーロッドのほか、高精度で負荷のないスムーズな上下駆動を実現するＺステージなど。

【優れた高分解能で同時制御が可能−フォーユー】

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フォーユー（埼玉県松伏町、０４８・９７１・７３８９）が出展する独ＰＬＡＳＵＳのＥＭＩＣＯＮシステム（写真）は、電子部品や半導体、ガラス、フィルムなどの成膜、プラズマ核融合の制御などで世界に１０００チャンネル以上の納入実績を持つ。優れた高分解能で最大８チャンネルの同時モニター・制御が可能。

【摩擦撹拌接合製品など展示−京浜ラムテック】

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京浜ラムテック（横浜市都筑区、０４５・４７３・２４８１）はコアコンピタンスの摩擦撹拌接合を活用した製品を展開する。今回は成膜面へのダメージを抑えた「低ダメージスパッタカソード」（写真）や、ロールスパッタ装置のメインローラーを銅製にしてフィルムからの抜熱特性の向上を図った「銅製メインローラー」などを展示する。

【設計しやすい真空環境提案−芝浦メカトロ】

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芝浦メカトロニクスの小型真空応用装置（写真）は、ＪＩＳ８インチフランジを４面備えた角型チャンバー構造で、設計しやすい真空環境を提案する。さらに、真空チャンバーはツールの接続スペースを考慮し上下左右に干渉物のない後方支持タイプとなっており、スパッタリング装置や蒸着装置など、利用目的に応じた運用が可能。

【取り扱い容易な真空ポンプ−大同機械製造】

大同機械製造（大阪府高槻市、０７２・６７１・５７５１）は１９４７年創業の空気圧縮機、往復動真空ポンプメーカー。中でも往復動真空ポンプは、低速のため風量当たりの重量は大きいものの、構造が堅ろうで取り扱いが容易。中間真空での効率が良いという利点があり、幅広い産業分野で活用されている。