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産総研、フッ素系ガスを極低濃度で検出する検知材開発
(2016/9/7 05:00)
産業技術総合研究所ナノ材料研究部門の中村徹主任研究員らは、半導体製造装置で使われるフッ素系ガスを２ｐｐｍ（ｐｐｍは１００万分の１）という極低濃度で検知する材料を...
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(2016/9/7 05:00)
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