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[ エレクトロニクス ]
アルバック、ドライ真空ポンプ 排気時間20％短縮
(2018/4/23 05:00)
アルバックは半導体製造装置などの内部を真空にするために要する時間を従来機に比べ約２０％短縮したドライ真空ポンプ「ＬＳシリーズ＝写真」を発売した。排気する仕組みを...
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(2018/4/23 05:00)
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