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[ 化学・金属・繊維 ]
ＡＧＣ、露光装置用フォトマスク材増強 生産能力３倍に
(2018/11/29 05:00)
ＡＧＣは２８日、光源に波長１３・５ナノメートル（ナノは１０億分の１）の極端紫外線（ＥＵＶ）を用いる露光装置向けのフォトマスク材の生産能力を、２０２０年に現在比約...
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(2018/11/29 05:00)
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