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[ エレクトロニクス ]
ディスコ、半導体ウエハー切断装置 段取り替え自動化
(2018/12/3 05:00)
ディスコは、段取り替え作業を自動化した半導体ウエハー切断装置「ＤＦＤ６３６３」を開発した。従来は加工対象物（ワーク）に合わせて人手で装置のロボットハンドなどを組み替えていたが、モニターに表示される「レシピ」を選ぶだけで自動で組み替わる。同様の機能を持つ装置は業界でも珍しい。半導体...
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(2018/12/3 05:00)
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