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記事検索結果
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一段と微細化した次世代半導体は、液浸での2回露光(ダブルパターニング)で製造するが、光源に極端紫外線(EUV)を用いたEUV露光装置も前倒しで使いたい」 ―シス...
露光光源が光から極端紫外線(EUV)に変わるため開発費や設備導入費がかさみ採算に乗らないと見ている。... 20ナノメートル世代では、フッ化アルゴン(ArF)エキシマレ...
商品化したのは、アルゴンフッ素(ArF)エキシマレーザーを光源とした45ナノメートル(ナノは10億分の1)プロセスに対応したもの。
オランダのASML、ニコン、キヤノンの露光装置メーカー3社は32ナノメートルプロセスに向けた研究開発を、露光を2回実施する「ダブルパターニング」、純水より屈折率の高い溶媒を介して解像度を高める「高屈折...
松下の光源を用いた照明器具を手がける松下電工も、2012年度に電球型蛍光灯器具の構成比を07年度の53%から90%に引き上げる。... 次世代光源としてLEDや有機エレクトロルミネッセ...
同装置はブルーレイディスクで使う波長405ナノメートル近辺(ナノは10億分の1)の高輝度の発光ダイオード(LED)を光源とする。
三菱電機 光源に発光ダイオード(LED)を使ったダウンライト(天井埋め込み照明)「AKARI―LEDsダウンライトシリーズ」4機種を7月22日に発売する。
解像度を向上するには、レンズの明るさを表す開口数(NA)を上げる、露光光源の短波長化―などいくつかの手段がある。 ... その先、2010年の実用化が見込まれる32ナノメートル...
