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コニカミノルタIJ(東京都日野市、大野彰得社長、042・589・3701)は14日、微小電気機械システム(MEMS)技術を採用した産業用インクジェットヘッドのサンプル販...
【立川】エリオニクス(東京都八王子市、岡林徹行社長、042・626・0612)は、極軽荷重の測定に特化した微小押し込み硬さ試験機「ENT―3100=写真」を完成した。
複数の電子回路を積層して大規模化、高速化するもので、半導体や微小電気機械システム(MEMS)などでの利用を提案している。
フィンランドのVTIテクノロジーは自動車向けで高精度な微小電気機械システム(MEMS)のジャイロセンサーと加速度センサーを持っている。
産総研の徳島正敏ナノデバイスセンター総括主幹らは、光導波路を伝わる信号光の直径と、結合端面の屈折率を同時に変換させ、信号光を拡大したり縮小したりできる微小な光変換器を開発した。
村田製作所は31日、フィンランドの微小電気機械システム(MEMS)センサーメーカー、VTIテクノロジーの買収を1月30日(現地時間)付で完了したと発表した。
20マイクロメートル(マイクロは100万分の1)という薄い半導体基板上と側面に、変形によって抵抗値が変化するピエゾ抵抗層をつくりこむことで、低コストの微小センサーを実現した。
パラジウム触媒はマイクロチップのような微小空間でないと形成できないが、マイクロチップを多数積み重ねれば、年間数トン規模の大規模な処理装置が実現できる可能性があるという。
【京都】ロームは2013年までに、子会社の米カイオニクスの本社工場(ニューヨーク州イサカ市)で微小電気機械システム(MEMS)の生産能力を11年比で倍増する。
