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長沢豊ハウザーテクノコーティング営業部長が「スパッタによるセラミックコーティング装置技術」、宮崎忠男アイエス技術研究所副所長が「DLCコーティング皮膜の市場性」について発表する。

記憶部分を担うアルミニウム酸化物層をRFスパッタ法、アルミニウム配線層を真空蒸着で形成しフォトリソグラフィーで作製した。

【山口】山口大学大学院理工学研究科の諸橋信一教授は、薄膜の堆(たい)積速度を調整できるスパッタ(成膜)装置を開発した。フィルムなどの柔らかい基板に薄膜を形成する際は、損...

円筒面を回転させ、スパッタ面を変えながら使用するため、使用効率が約80%になる。

研究グループが独自に開発した全自動で八つの成膜条件を変化できるスパッタ装置で酸化亜鉛の結晶の並び方を工夫して成膜した。

さらにITO層をスパッタ製法で成膜した。

アームの先端に取り付けるスパッタ飛散防止カバーは航空機の垂直尾翼をイメージして「スピード感を表現した」(山口主幹技師)という。

一般に透明導電膜の成膜装置は原料にイオンを衝突させて基板に付着、成膜するスパッタ方式を採用しており、成膜前後に特殊な熱処理(アニール処理)をする。 一方、イオンプレーティング方...

合金薄膜はスパッタ法によりガラス内側に蒸着させる。

移動するYアームの先端に、切断時にスパッタ飛散防止カバーを兼ねた垂直尾翼形状のカバーを配し、起動性をアピール。

〈愛知県〉▽ヴィッツ=故障未然防衛機能を有した高信頼ソフトウエアプラットフォームの開発▽テービーテック=高精度ロボット計測システム開発▽アタム技研=組み込みソフトウエアによる燃...

プラズマ発生によって局所的に高温状態になり、金属のスパッタが起こりえる。

これらの技術をあわせ大面積成膜が可能な汎用スパッタ成膜法に適用し、20インチサイズの液晶テレビ用パネルで酸化亜鉛透明電極を使えるようにした。

ノズル交換装置や付着した溶融物(スパッタ)の自動除去装置を標準装備し、段取り時間を短縮できる。

電流の瞬間的最大値は不変のため、低加圧で溶接するとピーク電流時にスパッタ(火花状の現象)が発生するなど品質低下を招く。

薄膜作成技術には「ゾルゲル法」や「スパッタ法(スパッタリング法)」と呼ばれるものがあり、そのうちスパッタ法は機能性薄膜の作成に適しているとされる。 スパッタ法は真空中でプラズマ...

ワイヤ径、電流に応じた電圧やワイヤの送給速度を素早く最適化し、開始時のスパッタ飛散量を抑えた。

また電流や電圧によって異なる火の粉(スパッタ)の大きさを見ながら電圧や溶接スピードなどを変える。

同社の特許技術で、試料の合成比率や各部分の温度、膜圧の変化に一つの試料で対応できるコンビナトリアル法をスパッタ方式で行う。

しかし、50マイクロメートル以下の薄膜をつくるにはエネルギー密度が高すぎ、金属粉がはねて付着するスパッタなどの溶接欠陥が起こりやすかった。 ... エネルギー密度が低く溶接方向に長い楕円ビーム...

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