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記事検索結果
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電気的に動作を制御するMEMS(微小電気機械システム)回折格子を独自開発し、モジュールを小型化した。
半導体製造装置メーカーの米クラスワンテクノロジーが開発したソルスティスシリーズは、レーザーや微小電気機械システム(MEMS)などに使う200ミリメートル以下の半導体ウエハーの作製に向く...
ライダーはレーザー光を使って対象物までの距離を高精度に検知できるセンサーで、パイオニア製は微小電気機械システム(MEMS)ミラーを採用し、部品点数が少なく小型・軽量が特徴。
微小電気機械システム(MEMS)技術で製作した振動センサーと太陽電池などを組み合わせたセンサーモジュールを試作した。
だが、自動運転車で使われる微小電気機械システム(MEMS)型LiDAR(ライダー)の3次元レーザースキャンが今後安くなるためAGVでも活用する可能性が高い。 &...
2次元レーザー変位計はキーエンス、MEMSジャイロはシリコンセンシングシステムズジャパン(兵庫県尼崎市)、加速度計は日本航空電子工業。
NTTと産業技術総合研究所は、原子の核磁気共鳴の周波数を微小電気機械システム(MEMS)で制御することに成功した。... ガリウム・ヒ素の結晶を加工し、両端が固定された板バネ構造のME...
微小電気機械システム(MEMS)を使った表示素子のミラーデバイスやイメージングデバイスといった超小型から大型金属パッケージに使える。
【京都】村田製作所は20日、50億円を投じてフィンランドに微小電気機械システム(MEMS)センサーの生産棟を建設すると発表した。... 同社はMEMSセンサーの売上高を、年率10...
同社は償却費負担の重い微小電気機械システム(MEMS)製造キャパを常に需要以上に持ち適切なタイミングで供給できる体制が整っている。 ... NAND型フラッシュメモリ...
そこで、IoT(モノのインターネット)を活用した斜面のリアルタイム監視を目指し、杭(くい)にMEMS(微小電気機械システム)型加速度センサーを組み込んだ...
【応用進む】 現在、産総研ではMEMSセンサー、化合物半導体素子、メモリー、パワーエレクトロニクスなどの分野でウエハー接合技術の応用を進めている。... 産総研の前身の一つである機械...
杭(くい)の中にMEMS(微小電気機械システム)型加速度センサーを組み込んだ装置を熊本県阿蘇市、南阿蘇村、西原村の計9地点に設置した。 【杭にMEMS...
微小電気機械システム(MEMS)の基本構造を基板上に作るのと並行して材料と素子構造の相性を検証するなど、材料とデバイスの開発が一体化する。
3次元NAND型フラッシュメモリーや、微小電気機械システム(MEMS)などで需要を見込む。
日立建機の安田知彦理事による「鉱山用ダンプトラック自律走行システムと情報化施工の現状」、および東洋大の松本潔教授による「MEMSセンサデバイスとIRTアプリケーション」の2件。
日立製作所は22日、消費電力を従来比半分以下にした微小電気機械システム(MEMS)加速度センサーを開発したと発表した。... MEMS加速度センサーは、弱いバネで保持された可動する錘と...
