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キヤノン、ナノインプリント露光の型量産装置-大日印に納入 (2017/2/24 電機・電子部品・情報・通信1)

キヤノンは23日、型を材料に押し当てて回路を転写し半導体を製造する「ナノインプリント露光技術」向けに、型の量産装置を製品化したと発表した。... ナノインプリント露光は従来の露光技術に比べ、製造コスト...

また「ナノインプリント露光」技術を使った次世代装置の事業化が視野に入った。... 既存モデルをアップデートする形で、性能を高めた製品を毎年投入していく」 ―次世代のナノインプリント露...

「ナノインプリント露光」技術を使う次世代装置の量産体制の検討も始めた。... 一方でi線、KrF装置の技術研鑽と、ナノインプリント露光技術の研究開発を同時並行で進め、反転攻勢の機会をうかがってきた。&...

具体的な取り組みとしては回路線幅の微細化、キヤノンと共同開発した「ナノインプリント露光」技術を活用した新鋭製造装置の活用がカギを握る。 ......

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