キヤノン、宇都宮の半導体露光装置の生産能力１．５倍に引き上げ−１００億円投資

キヤノンは栃木県の半導体露光装置工場の生産能力を年内に２０１４年比１・５倍に引き上げる。投資額は１００億円規模とみられる。モノのインターネット（ＩｏＴ）の普及を背景に同社が手がける光源がｉ線、フッ化クリプトン（ＫｒＦ）の両装置需要は堅調とみて約５年ぶりの大型投資に踏み切る。「ナノインプリント露光」技術を使う次世代装置の量産体制の検討も始めた。苦戦が続いた露光装置事業は、守りから攻めへ転換する。

キヤノンは宇都宮事業所（宇都宮市）と阿見事業所（茨城県阿見町）で半導体露光装置を製造する。今回は主力の宇都宮事業所の既存工場に新たな機材や治工具を導入する。

同社のｉ線とＫｒＦ装置の合計販売台数は１６年に、３年前に比べて倍増の８６台まで増える見通し。増産投資で生産能力を確保し、２０年にＫｒＦ装置の業界シェアを５０％（現在は２０％超）に引き上げる計画。またｉ線装置のシェアも現行の約７０％を維持する...