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記事検索結果
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半導体の基盤となるウエハーにパターン形成を行うフォトリソグラフィー工程で使用される各種の感光性材料を対象とするフォトレジスト市場は、29年に23年比61・9%増の34億ドルとなる見通し。
2007年ごろから精密電鋳事業において、フォトリソグラフィーによる金型作製を含む製造工程の内製化を進めてきた。... 以前は顧客や協力会社からフォトリソグラフィーで作製した金型の提供を受けていた。.....
しかし、描く線の幅や厚みが不均一になる問題があり、光食刻(フォトリソグラフィー)と比べて品質が劣っている。
搭載するモジュールの小型化に対応するため、写真製版技術(フォトリソグラフィー技術)による加工で縦2・0ミリ×横1・6ミリ×高さ0・7ミリメートルと業界最小クラスを実...
欧州現地法人の工場に投資し、ポリイミドに加え、回路形成に用いる現像液やクリーナーなどのフォトリソグラフィー周辺材料も増産する。
半導体製造などで使うフォトリソグラフィーを応用し、水晶の微細加工技術を研究開発・生産するための最適設計を取り入れた。
これに、半導体加工技術のフォトリソグラフィーとドライエッチングにより微細加工し、p型、n型の熱半導体が金属電極を介しつながる「π接合」を持つ平面π型熱電素子を作製した。
従来のフォトリソグラフィー技術よりも低い温度で作製でき、複雑な工程が不要になる上、材料の無駄がないオンデマンドな製法であるため、環境にやさしく大規模化も容易といった利点がある。
従来のフォトリソグラフィーのようなパターン露光や溶媒現像せずに狙い通りの形状の流路を作製できる。
水晶片は感光性の薬品を塗布し、光を照射し表面を変質させるフォトリソグラフィー法を用いた。
日本電波工業はフォトリソグラフィー技術や応力解析シミュレーションを用いて、耐振動性能に優れた新しい発振器を開発した。