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半導体の基盤となるウエハーにパターン形成を行うフォトリソグラフィー工程で使用される各種の感光性材料を対象とするフォトレジスト市場は、29年に23年比61・9%増の34億ドルとなる見通し。

2007年ごろから精密電鋳事業において、フォトリソグラフィーによる金型作製を含む製造工程の内製化を進めてきた。... 以前は顧客や協力会社からフォトリソグラフィーで作製した金型の提供を受けていた。.....

クリーンルーム内研修では、ドライエッチング、フォトリソグラフィーなどの半導体製造工程を体験した。

しかし、描く線の幅や厚みが不均一になる問題があり、光食刻(フォトリソグラフィー)と比べて品質が劣っている。

日本電波工業、差動出力の水晶発振器 光通信機器向け小型2種 (2024/4/8 電機・電子部品・情報・通信)

搭載するモジュールの小型化に対応するため、写真製版技術(フォトリソグラフィー技術)による加工で縦2・0ミリ×横1・6ミリ×高さ0・7ミリメートルと業界最小クラスを実...

大日印、エンコーダーディスク参入 カラーフィルター技術応用 (2023/7/6 電機・電子部品・情報・通信1)

エンコーダーディスクは微細パターンを形成するフォトリソグラフィー技術で製造する。

富士フイルム、台湾に新工場 半導体研磨材料を増産 (2023/5/18 素材・建設・環境・エネルギー2)

新工場はCMPスラリーに加え、フォトリソグラフィー周辺材料も生産する。

欧州現地法人の工場に投資し、ポリイミドに加え、回路形成に用いる現像液やクリーナーなどのフォトリソグラフィー周辺材料も増産する。

リバーエレテック、クリーンルーム増設 次世代水晶製品向け (2023/3/28 電機・電子部品・情報・通信1)

半導体製造などで使うフォトリソグラフィーを応用し、水晶の微細加工技術を研究開発・生産するための最適設計を取り入れた。

前駆体溶液をポリイミドフィルムに塗り、焼結とフォトリソグラフィーでn型TFTを作製した。

これに、半導体加工技術のフォトリソグラフィーとドライエッチングにより微細加工し、p型、n型の熱半導体が金属電極を介しつながる「π接合」を持つ平面π型熱電素子を作製した。

従来のフォトリソグラフィー技術よりも低い温度で作製でき、複雑な工程が不要になる上、材料の無駄がないオンデマンドな製法であるため、環境にやさしく大規模化も容易といった利点がある。

銅から銅へ「フォトリソグラフィーやエッチングから印刷への置き換えを目指す」。

今回、ニオブ酸リチウムの加工をフォトリソグラフィーから研磨加工に切り替えた。

この原因をフォトリソグラフィーなどで生じる一酸化炭素などの有機不純物と特定した。

リバーエレテック、200℃対応水晶発振器 航空宇宙向け (2020/6/10 電機・電子部品・情報・通信1)

フォトリソグラフィー技術を応用するなどして、同GTカット水晶片の量産に成功した。

従来のフォトリソグラフィーのようなパターン露光や溶媒現像せずに狙い通りの形状の流路を作製できる。

水晶片は感光性の薬品を塗布し、光を照射し表面を変質させるフォトリソグラフィー法を用いた。

トクヤマ、現像液の生産能力50%引き上げ (2018/8/6 素材・ヘルスケア・環境)

半導体ウエハーに回路を形成する現像(フォトリソグラフィー)工程で使う。

日本電波工業、水晶発振器の性能 10倍向上 (2018/7/5 電機・電子部品・情報・通信2)

日本電波工業はフォトリソグラフィー技術や応力解析シミュレーションを用いて、耐振動性能に優れた新しい発振器を開発した。

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