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タカトリ、MEMS参入−2年後めど量産機を投入 （2008/2/1）
初年度の08年9月期は数台の販売を見込む。... フィルムをテント状に張る「テンティングばり」、シリコンウエハーの凹部の底面に沿って張る「コンフォーマルばり」、最大厚さ1ミリメートルの厚膜レジストが得...
