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23件中、2ページ目 21〜23件を表示しています。 (検索にかかった時間：0.003秒)
大日本スクリーン、IPA使わないウエハー乾燥技術を開発 （2008/12/1）
【京都】大日本スクリーン製造はイソプロピルアルコール(IPA)を使用しない300ミリメートル半導体ウエハー洗浄装置向け乾燥技術を開発した。同技術を採用した「ドライエアー乾燥モジュール」...
ハセック、太陽電池関連を拡大−来春にも新工場 （2008/10/8）
休業したオリエンタル工業(大阪市北区)から太陽電池ウエハー洗浄装置の製造・販売事業を譲り受けたのに続き、11月に成膜装置とウエハー洗浄装置の新工場を本社工場の隣接地に着工する。... ...
東芝・大日本スクリーン、イソプロピルアルコール除去装置を共同開発 （2008/6/5）
ウエハー洗浄装置から揮発して大気中に放出するIPAを約75%除去できる。... 新装置は排気と排液を分離する気液分離ボックスで、ウエハー洗浄装置内部に設置できる。... 従来、製造ラインの外に...
