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《中小企業庁長官賞》 【マイクロエミッション/北陸先端科学技術大学院大学】 新開発の液体電極プラズマ原子発光分析法を用いた超小型の元素分析装置。... 従来の誘導結合プラズマ...

蒸着法、スパッタ法、CVD法などがあり、半導体回路素子を作製するために重要な技術。

今回開発したフィルムは、全光線透過率80%、導電性能を示す表面比抵抗は1平方ミリメートル当たり1―50オームと、ウエットコーティング法では世界最高レベルの透明性と導電性に加え、耐屈曲性を実現。...

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