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幸和、有機ELパネルの歩留まり改善ホットプレート一体の真空熱処理装置（2020/8/19 機械・航空機１）

真空対応ホットプレート(HP)を一体化したことでパーティクル(微粒子)が発生しなくなり、歩留まりを改善した。

住友大阪セメ、SiCセラ部品増産春以降の市場回復見込む（2020/1/9 素材・医療・ヘルスケア）

ウエハーへの金属汚染や脱ガス、パーティクルが少なく、加熱冷却が早くて熱応答性が良いのが特徴。

三菱鉛筆、カーボンを半導体装置に提案耐薬品性など訴求（2019/11/28 素材・医療・ヘルスケア）

PFCの部品は緻密な構造のためパーティクルを削減。

私の流儀/フジキン代表取締役・小川洋史(7) （2019/10/30 中小企業・地域経済２）

フジキンは85年に独自の研磨技術でバルブ内を鏡面化し、パーティクル発生の抑制に成功。

三井金属、4輪エンジン用GPF触媒開発高い浄化特性、22年量産（2019/7/17 素材・医療・ヘルスケア）

ガソリンエンジンから排出されるカーボン系パーティクルの捕集性能に優れるのが特徴。... 同社が開発した4輪向けガソリンエンジン用GPF触媒は、カーボン系パーティクルの捕集性能に優れるとともに、高い浄化...

2017洗浄総合展・紙上プレビュー(1)JXTGエネルギーほか（2017/11/22 機械・航空機１）

金属加工品の脱脂・洗浄や電子部品の洗浄、フラックス洗浄、パーティクルの除去などに活用できる。

オリエント技研、極微細片に対応した温水引き上げ乾燥装置（2017/6/29 モノづくり基盤・成長企業）

【立川】オリエント技研(東京都八王子市、後藤康彦社長、042・651・2012)は、0・3マイクロ―5・0マイクロメートルの極微細パーティクルに対応した温水引き上げ...

ディスプレーウオッチ(6)FPD製造設備と技術動向−3年連続成長、中国が寄与（2016/10/20 電機・電子部品・情報・通信２）

有機および無機層を重ねて封止膜を形成しているが、これではパーティクル、厚み、柔軟性、生産性、コストなどの問題が生じてしまう。

産総研と地域企業・産業振興で連携(47)日本タングステン（2016/9/1 科学技術・大学）

パーティクル発生機構の解明と日本タングステンのプラズマ耐性材料開発とが融合して課題を解決できた。

島津製作所、バイオ医薬品向け凝集性評価装置を拡充（2015/8/27）

凝集体の大きさが100ナノメートル(ナノは10億分の1)から10マイクロメートル(マイクロは100万分の1)までの領域をサブ・ビジブル・パーティクル(SVP&#...

“真”の総合ロボメーカーへ・ダイヘンの挑戦(中)六甲をデモ工場に活用（2015/3/18）

搬送ロボットも高精度な動きに加え、稼働時にパーティクル(粒子)を出さない工夫が要る。

ダイヘン、六甲へ拠点移管−大型ガラス搬送ロボ生産（2015/3/11）

ダイヘンはパーティクル(粒子)の発生を極力抑える必要があり、付加価値が高い真空環境下の搬送ロボットに特化している。

真空展・紙上プレビュー(4)岡崎製作所ほか（2014/10/13）

バッチ式蒸着機OTFCシリーズ(写真)のほか、ロードロック式スパッタ成膜装置、インライン式防汚膜成膜装置、反応プラズマ成膜装置、光学膜厚計システム、RFイオンソース、低パーティクル対策...

シンフォニアテクノ、線幅10ナノ世代対応の半導体製造用ロードポート（2013/11/29）

これによりパーティクル(異物)混入を防ぐ能力を大幅に高めたのが特徴。

島津、抗体医薬の品質管理確立へ−凝集体評価で先陣（2013/7/30）

島津製作所が取り組むのは、効果的な解析方法が確立されていないサブ・ビジブル・パーティクル(SVP)と呼ばれる1マイクロメートル(マイクロは100万分の1)前後の凝集体の...

東レエンジ、燃料電池向け強化−素材加工・装置販売（2013/7/16）

スリッターやシートカッターでは、刃物や搬送装置である巻き取り装置を適正化しホコリ(パーティクル)の発生が少なく、高精度の切断が行える。

東レエンジ、ガラス基板のコート・乾燥を非接触で連続処理できるシステム投入（2013/1/16）

微細ゴミ(パーティクル)の発生要因となるロボットや真空乾燥部でのチャンバー開閉といった機構部がない。

オムロン、現場情報の見える化を支援する無線ユニット発売（2012/12/4）

これらの組み合わせで電力量やパーティクル量のほか、生産現場の多様な環境情報を無線で効率よく収集できる。

基盤技術で勝ち抜く(29)ローツェ−半導体工程の位置決め技術（2012/12/3）

シリコンウエハーに集積回路パターンを転写する際、原板となるマスクにつくちり(パーティクル)もその一つ。パーティクルの除去には超純水や薬品による複数回の洗浄が必要で、除去しても再付着する...

真空展2012・紙上プレビュー/神港精機ほか（2012/10/12）

いずれもパーティクル(粒子)低減や処理能力を向上できる。

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