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モノづくり現場・省エネ技術最前線(9)日本電子工業（2013/3/22）

03年には豊田中央研究所(愛知県長久手市)と共同開発したダイヤモンド・ライクカーボン―シリコン(DLC―Si)膜のプラズマ化学気相成長(CVD)加工装置...

ユーテック、粉体微粒子表面にCVD法でDLC成膜する技術開発（2012/10/3）

【千葉】ユーテック(千葉県流山市、本多祐二社長、04・7150・5731)は、最小直径1マイクロメートル(マイクロは100万分の1)の粉体微粒子の表面にプラズマ化学気相...

独自開発した高速化学気相成長(CVD)で、グラフェンを数層積層した花びらが集まったような状態で生成する。... インキュベーション・アライアンスは反応容器内で同時多発でメタンと水素をC...

盛り上がるグラフェン研究/名城大・飯島澄男教授ほか（2010/10/5）

2009年に米テキサス大学のロッド・ルオフ教授らが銅箔を使った熱化学気相成長(CVD)法で効率良くグラフェンを作る技術を確立。... 「従来は1000度C必要だったグラフェンの製造が、...

近畿高エネ加工技研、30日に都内で被膜技術研究会（2010/7/13）

講演テーマは(1)DLC(ダイヤモンドライクカーボン)被膜の電気的特性(2)コロイド溶液を利用したプラズマCVD(科学気相成長)法による...

これにより、高温環境を伴う化学気相成長法の一つであるプラズマCVD法にも適応できるため、形成する回路の品質向上に貢献する。 ... これによるウエハー強度低下を補うため、保護板を仮止して、製造...

東洋大、太さ8ナノメートルのCNTの作成に成功（2010/3/24）

プラズマ化学気相成長(CVD)法を利用し、プラズマ発生に使うマイクロ波と材料のメタンガスの流路を分けてプラズマを基板へ均一に照射可能にした。... プラズマCVD法のCNT製造は通常、...

中川製作所、DLC皮膜の受託加工を開始（2010/3/18）

綿毛や羊毛に入り込んだ土や砂などを取り除く紡績針の耐久性を高めるために、自社でパルス放電によるプラズマCVD(化学気相成長法)被膜装置を開発し、DLC被膜加工を始めた。... 同社では...

チップ内に分布する温度差が約110度Cと高いことから、プラズマ化学気相成長(CVD)で炭素光吸収膜を堆積(たいせき)し、残留炭素を洗浄してつくった。... セリートの青...

YAC、結晶系太陽電池製造装置事業の売上高10倍・150億円に（2009/9/24）

目標達成に向けてはプラズマ化学気相成長(CVD)装置を開発し、太陽電池セル製造の主要工程を一貫提供する体制を整える。... 太陽光の吸収を高める反射防止膜を形成するプラズマCVD装置の...

09プレビュー/微細精密加工技術展&表面改質展（2009/5/15）

大型の金型や小物部品を量産処理できる「パルスDC―プラズマCVD装置」をパネル展示する。

神鋼、CVD装置などの製造装置分野で太陽電池に本格参入（2009/3/10）

神戸製鋼所はプラズマ化学気相成長(CVD)装置などの製造装置分野で、太陽電池市場に本格参入する。... 神鋼が売り込むのは、樹脂フィルムをロールで巻き取りながら、プラズマCVDやスパッ...

95年には従来法と異なる直流プラズマ化学気相成長(CVD)法を用いて薄膜生成に成功。... さらに、自らが手がけた装置で、直流プラズマCVD法を試した。 ... こうして、直流...