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22件中、2ページ目 21〜22件を表示しています。 (検索にかかった時間：0.014秒)
東北大、SAWを利用したセンサーで多種類のガスを検知できる装置試作 （2009/12/16）
この原理を応用して研究グループは2006年、直径1ミリメートルの水晶球にパラジウム合金を感応膜として蒸着した「ボールSAWセンサー」を完成。水晶球表面を周回するSAWが感応膜に付着するガスの分子によっ...
倉元製作所、耐熱700度Cの薄膜型マイクロヒーター試作 （2009/12/3）
平面状に配列した白金線ヒーターに酸化物半導体を感応膜として薄膜処理した。... 同社は耐熱温度400度Cのマイクロヒーターを温度湿度センサー向けに生産してきたが、今回、薄膜材料や膜処理方法を改良し耐熱...
