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日立造船、容量5倍の全固体リチウム電池開発 5000mA時に向上 (2023/3/14 機械・ロボット・航空機1)

今後さらに高容量化し、宇宙航空関連製品や真空装置関連機器などに産業利用することを目指す。 同電池は低温度・高温度環境や、真空中で充放電できるのが特徴。... 宇宙関連製品や半導体装置...

そこには同社が強みとする真空機器関連のノウハウが生かされていた。... そんな中、95年の阪神・淡路大震災を契機に、真空装置メーカー勤務だった森田弘明が入社。... 真空機器の事業化で社員の品質管理意...

生徒が独自学習する授業で、同社の真空装置の活用も想定する。中高生の理数系教育を支援するとともに、強みの真空ポンプや薄膜形成装置などの技術力をアピールしていく。

VACUUM2022真空展/紙上プレビュー(6) (2022/10/18 機械・ロボット・航空機2)

また既存ALD装置の酸化源としてオゾン発生装置を紹介する。減圧下でのプロセスで真空装置との相性も良い。 【キヤノンアネルバ/手のひらサイズの真空計】 キヤ...

VACUUM2022真空展/紙上プレビュー(5) (2022/10/12 機械・ロボット・航空機2)

【大阪真空機器製作所/メンテ容易で高い耐久性のターボ分子ポンプ】 大阪真空機器製作所(大阪市中央区)は、磁気軸受型ターボ分子ポンプ「TG...

VACUUM2022真空展/紙上プレビュー(2) (2022/10/4 機械・ロボット・航空機2)

【アルバック/真空装置プロセス管理】 アルバックは「ピラニ真空計SW100」を出展する。... 真空装置のプロセス管理に貢献する。 &...

VACUUM2022真空展/紙上プレビュー(1) (2022/10/3 機械・ロボット・航空機2)

19―21日の3日間、東京都江東区の東京ビッグサイトで真空機器・真空装置の総合展示会「VACUUM2022真空展」が開かれる。... 【佐藤真空/高真空の熱処理装置】 &#...

日本原子力研究開発機構の神谷潤一郎研究主幹と大久保成彰研究主幹は、チタンを使うことで電源不要かつ小型の超高真空装置を開発した。... 電子顕微鏡や半導体装置の小型・省電力化のほか、電源なしで真空を保つ...

竹内電機は、高周波応用装置や高真空装置など各種装置を手がける。... 同センターなどと、高周波熱プラズマを用いてチタンやシリコンなどを短時間で大量・高品質に粒子化する製造装置の開発を始めた。... 今...

半導体製造装置用などに受注が好調で関連の売り上げが21年12月期は前期比35%伸びた。... 新工場で生産する特殊ネジは半導体製造装置用。真空装置用にガス抜きの穴がついたタイプ、不純物(...

センサー素子を製造するための真空装置や露光装置、薄膜形成装置、評価装置などを新たに導入する予定だ。

第64回十大新製品賞/本賞 ダイヘン (2022/2/8 機械・ロボット・航空機1)

ダイヘンの櫛田敏和クリーンロボット事業部企画部課長は2019年、半導体製造の真空装置に組み込む新しいウエハー搬送ロボットの企画をまとめた。... 初号機は1月末に国内のイオン注入装置メーカーに納入され...

2021年 第64回十大新製品賞 (2022/1/4 十大新製品賞)

本賞 ダイヘン/真空環境用ウエハ高速搬送ロボット 「UT―VDW3000」 真空環境下で世界最速レベルの高速搬送を実現した半導体ウエハー...

VACUUM2021真空展/根強い半導体需要 薄膜形成・圧力見える化 (2021/12/2 機械・ロボット・航空機1)

太陽電池やタッチスクリーンパネルに薄膜を形成する製造装置に搭載する真空ポンプ。... 真空装置のバルブ内に粉や粒子が入り込むことを防ぐ機構により、メンテナンスサイクルを延ばす。... 特に、成膜装置な...

日刊工業新聞社は1日、「2021洗浄総合展」(日本洗浄技能開発協会、日本産業洗浄協議会と共催)、「VACUUM2021真空展」(日本真空工業会、日本表面真空学会と共催)...

VACUUM2021真空展/紙上プレビュー(5) (2021/12/1 機械・ロボット・航空機1)

日本真空工業会の「真空コンポーネント・部品・材料部門賞」受賞製品。 ペガサスソフトウェア/真空装置やポンプ内を解析 ...

日本表面真空学会と日本真空工業会は12月3日10時10分から、東京ビッグサイト西ホール(東京都江東区)の「VACUUM2021真空展」会場内で、「規格標準報告会」を開く。半導体製造装置...

VACUUM2021真空展/紙上プレビュー(1) (2021/11/8 機械・ロボット・航空機1)

12月1―3日の3日間、東京都江東区の東京ビッグサイトで真空機器・真空装置の総合展示会「VACUUM2021真空展」が開かれる。... フジ・テクノロジー/バルブ内部への付着物を防...

両技術を融合し、同社が手がける真空装置の高性能化を目指す。... 真空装置ではプラズマを使ったプロセスが多く用いられているが、これまでプラズマの状態を直接測定することは難しかった。... プラズマの状...

魁半導体、プラズマ処理効果2倍の真空装置 処理時間半減 (2021/9/2 機械・ロボット・航空機2)

【京都】魁半導体(京都市下京区、田口貢士社長)は、加熱機構搭載で加工対象物(ワーク)の洗浄や表面改質といったプラズマ処理効果を同社従来品比2倍に高めた新型の真空プラズマ...

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