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麻酔ガスそのものをプラズマ状態にして分解することで高効率を実現した。... 従来のプラズマを使った気体の分解方法では、アルゴンなどイオン化しやすい気体でプラズマ状態をつくった上、分解したい気体を少量ず...

安立計器/1台で同時に4カ所の温度測定できる温度計（2010/8/31）

半導体製造におけるプラズマ中の基板温度測定や電力設備の保全などでの利用を見込む。

その後レーザー照射により発生したプラズマ中に、中間層の付いた基板を入れることで超電導膜の結晶を成長させる。... 11年度中に新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)が、イットリ...

常識覆す「ネオシリコン」−ナノ構造発光現象や単電子動作も（2009/9/28）

通常の半導体作製には数百度Cの高温が必要だが、ネオシリコンは超短波(VHF)プラズマ中で原料のシランガスを分解し、室温の基板上に単結晶シリコンを積める。... ナノ結晶を溶液中に分散し...

その後、プラズマ中のイオンや反応性ラジカルを加速して照射して構造を作った。

NEDO、きょうから東京・有明でMEMSの最新成果公開（2009/7/29）

同技術はプラズマ中の電荷や紫外光を抑え、原子層レベルまで平滑なエッチングを実現した。

核融合研、LHDで不純物の炭素密度が電子密度比0.3%抑制を確認（2009/4/9）

【名古屋】自然科学研究機構核融合科学研究所は8日、プラズマを生成し、磁場で閉じこめるタイプの核融合実験装置である大型ヘリカル装置(LHD)で、6500万度Cの高温プラズマ中でも、不純物...