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同シリーズのうち主力機は半導体や液晶製造工程向けに完成した「低発塵軸受ユニット」。... フッ素系グリースを封入し高温・真空状態で油分の蒸発を抑える「真空用軸受ユニット」と、内外輪に固体潤滑剤を被膜し...

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