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記事検索結果
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みずほ情報総研は1日から、半導体や微小電気機械システム(MEMS)などの製造時に使うプラズマプロセスにおいて、基板表面の状態を詳細に観察できる解析サービスを開始する。... 将来は、プ...
アルプス電気は製法などを見直し、微小電気機械システム(MEMS)技術を用いたピエゾ式の小型圧力センサーの生産性を大幅に改善する。
強度が測定できたことで、BNNTをナノ寸法の機械システムの部品として利用したり、複合材料の強化材に使うなど次世代ナノ材料として新たな用途開発が期待できる。 ... 機械特性もCNTと...
三菱ガス化学と産業技術総合研究所は14日、微小電気機械システム(MEMS)技術を使い、安全で高効率に過酸化水素を合成できるチップサイズの装置を開発した。
炭素系微小材料のカーボンナノチューブ(CNT)などの材料系の研究がよく知られるが、界面やひずみの制御、ナノ機械の実現など、最先端ではさまざまな研究が行われている。... 石原教授らは、...
【仙台】産学官組織のMEMSパークコンソーシアム(江刺正喜代表=東北大学教授)は、微小電気機械システム(MEMS)を応用したアプリケーションのアイデアを競う「第...
クリーンルーム内で露光装置などを用いて荷重センサーを試作し、微小電気機械システム(MEMS)加工についての理解を深める。
【執行役員国際部長】久玉敏郎(くだま・としろう)氏 【横顔】専門は機械システム工学。... 【略歴】82年(昭57年)東工大院総合理工学研究科機械工学修了、同年...
大日本印刷は微小電気機械システム(MEMS)で、厚さ1ミリメートルと従来より20%程度薄型化した3軸加速度センサーを開発した。
NEC SCHOTTコンポーネンツ(滋賀県甲賀市、ラウパッハ―スミヤ・ヨーク社長、0748・63・6610)は、微小電気機械システム(MEMS)用8インチの極細...
ドイツ特殊ガラスメーカーのショットは、約0・1ミリメートル厚の微小電気機械システム(MEMS)用ガラスウエハーを8月上旬から発売する。
市場の将来を考えてみても、電気自動車やMEMS(微小電気機械システム)の普及など、同社の検査・分析能力を必要とする領域が広がりつつある。
同装置はCADデータを基に直接描画するためフォトマスクが不要で、半導体や微小電気機械システム(MEMS)の製造開発での期間短縮やコスト削減が期待できる。
