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荏原は主力のポンプなどの風水力事業のほか、ゴミ処理場のエンジニアリング事業、半導体製造装置の精密・電子事業を展開する。精密・電子事業の代表製品であるドライ真空ポンプ、化学的機械研磨(CMP&#...

(総合1参照) アルバックは従来機種と同等の排気速度を維持しながら、体積を約半分にしたドライ真空ポンプを紹介する。... 展示ブースでは異物混入を防ぐドライ真空ポンプ...

ロールツーロールで太陽電池や有機ELが生産できる真空成膜技術や、半導体製造装置向け真空バルブなども紹介する。 ... 【日本エリコンライボルト/軽質ガス向け真空ポンプ】&#...

□■□■ 【真空ポンプを大幅小型化/荏原】 荏原は小型・空冷式ドライ真空ポンプ「EV―A10型=写真」を出展する。... 【異...

アルバックは軽負荷の小型真空装置向けドライ真空ポンプ「CRシリーズ=写真」の4機種を製品化したと3日発表した。油回転真空ポンプで多用される排気速度が毎分280―5000リットルクラスのドライ化...

荏原は医療や分析、測定器、食品分野向けに小型・空冷式ドライ真空ポンプ「EV―A10型」を発売した。従来の油回転式ポンプと異なり、ポンプ内部のガス通路に油を一切使わないため、真空空間中への油分の含有を防...

(総合1参照) 【最小限の機能】 アルバックが開発したドライ真空ポンプ「GRシリーズ」は、一般産業機器向けに価格を引き下げたのが...

【神港精機/過酷な環境下でも安定稼働】 神港精機が独自開発したスクリュー形状のドライ真空ポンプ「SSTシリーズ」は、過酷な環境下でも安定稼働できる。... 【荏原など&#x...

【多角化進める】 「油から、水、そして空気、さらに真空へ」。... 真空ポンプの開発も自前の技術で、93年にスクリュータイプのドライ真空ポンプを完成、専用工場を立ち上げた。真空ポンプ...

荏原は12日、省エネルギー型のドライ真空ポンプ「EV―M型=写真」全6機種を発売したと発表した。... 内部温度の最適化などにより、半導体などの製造工程でポンプ内部に形成されやすい反応副生成物...

【横浜】日本ブッシュ(神奈川県平塚市、笹部陽一郎社長、0463・50・4000)は、消費電力を30%低減したドライ真空ポンプを発売した。... インバーターを搭載し、真空装置が...

(土井俊) 精密・電子事業はドライ真空ポンプのほか、半導体製造向けウエハー用化学機械研磨(CMP)装置、メッキ装置などを手がけている。... しかし、...

荏原は18日、半導体などの製造工程で使われるドライ真空ポンプの累計出荷台数が10万台を達成したと発表した。

1999年に半導体製造装置から製造用ガスを吸引するドライ真空ポンプのオーバーホールを開始した。... (三重支局長・伊藤和泰) ◇ ―仕事の内容は&...

荏原のドライ真空ポンプ(写真)の販売が好調だ。

大阪真空機器製作 ポータブルタイプのドライ真空ポンプ「DSP250」「同500」を発売した。

【横浜】アネスト岩田はドライ真空ポンプISPシリーズに、排気速度が毎分50リットルの小型タイプ「ISP―50=写真」を追加した。装置内のシール構造を見直し、ポンプ自体の漏れ量(リークレ...

アルバック機工(宮崎県西都市、中村静雄社長、0983・42・1411)は、排気量が毎分420リットルの揺動ピストン型ドライ真空ポンプ「DOP―420S」を発売した。紙やフィルムなどの吸...

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