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記事検索結果
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スーパークリーンルームでは、FIRSTの予算で導入した100ミリメートルシリコンウエハーの基礎研究ラインと、経産省プロジェクト予算による300ミリメートルウエハーの応用開発ラインが併せて活用されている...
6インチ径のウエハーを25枚収納できる真空カセット室を備え、自動処理が可能。... SiCウエハーのエッチング装置で量産機の投入は業界初という。... サムコは研究開発やセミ量産用として、SiCウエハ...
燃料電池やヒートシンク向け気体・液体流路、半導体製造工程の搬送トレー、ウエハー吸着盤の用途で引き合いが多い。
半導体ウエハーや液晶・太陽光パネルの製造用クリーンルームに併設すれば、安い電気代で静電気によるほこりの付着を減らし、歩留まり向上に役立つとしている。... 静電気を帯びたほこりにイオンが付いて電気を中...
昭和電工は30日、パワー半導体の材料である炭化ケイ素(SiC)エピタキシャルウエハーで、世界最大となる直径6インチ(150ミリメートル)の量産化技術を確立し、10月に発...
そこで半導体をさらに小型化し記憶容量も拡大するために記憶素子を垂直に積載する3D半導体や、一つのウエハーからより多くの半導体を取れるようにするためウエハーを直径450ミリメートルに大口径化する技術の開...
韓国サムスン電子や米インテルなど大手半導体メーカーは大口径の450ミリメートルウエハーへの移行を計画しており、装置メーカーも開発負担が膨らみ、経営基盤の強化が避けて通れない。
D―process(神奈川県大和市、土肥英之社長、046・200・2400)は、特殊半導体ウエハー向け化学機械研磨(CMP)受託の加工能力を現在比1・5倍の月1万500...
同樹脂の強みである耐汚染性を生かしつつ、今回、静電気がウエハーの回路を破壊するといった課題を解決。... PEEKの耐熱性や耐薬品性に加え、樹脂からなんらかの物質が溶出することでウエハーの汚染につなが...
【横浜】レーザーテックは海外拠点で半導体ウエハー検査装置の販売を強化する。... ウエハー装置を半導体フォトマスク関連装置に続く事業の柱に育て、さらなる成長を図る。 新規事業として開...
端末メーカーは新機種の発売状況を見ながら発注する戦略なのかもしれないが、単価が下がるため、大型ウエハーを処理する技術で生産性を高めてコスト対応できるようにしていく。
このスラリーで10ナノメートルの銅付きウエハーを10分間研磨し、原子間力顕微鏡(AFM)で測定した結果、銅の表面粗さ(RMS)のRMS値は初期の20ナノメートルから0・...
半導体配線の微細化やウエハー大型化に伴って緻密な温度制御が求められることから、半導体製造装置向け熱伝導シートの需要拡大に期待する。
大阪大学産業科学研究所の田川精一招聘(へい)教授、大島明博招聘准教授らの研究グループは、最先端の半導体デバイス製造のスループット(1時間当たりの半導体ウエハーの処理枚数)...
同配線板は半導体ウエハー検査装置などに使う。 ... 日本はDRAMウエハーの検査装置などに使う最先端の配線板生産と多品種少量生産に特化する。
