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記事検索結果
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機器が動作不良を起こす主原因である内部の配線欠陥を詳細に調べ、故障を検知する。... 従来は配線欠陥が生じるまでの時間を計ることで故障を推定しており、使用環境や基板材料、配線材料に応じた詳細な評価は難...
【さいたま】オプセル(埼玉県川口市、小俣公夫社長、048・260・3308)は、光学機能性フィルムの欠陥を検出するレーザー走査イメージャー「LSM―4100W=写真」を発売した...
エスアイアイ・ナノテクノロジー(東京都中央区、北野進社長、03・6280・0070)は、回路線幅180ナノメートル(ナノは10億分の1)以上の半導体に対応できるフォトマ...
ヤンセンファーマ(東京都千代田区、関口康社長、03・4411・5964)は、注意欠陥/多動性障害(AD/HD)の子供に見られる症状を疑似体験する装置...
ニコンとキヤノンはセリートと、ASMLはベルギーのIMECとそれぞれ共同で、光源出力やマスクの欠陥、感光剤(レジスト)など、EUV露光の技術課題の克服に取り組んでいる。
アークライト・ソフト(大阪市北区、平正行社長、06・4801・0820)は、プラスチックレンズの表や裏面の傷、コーティング時の膜抜け、内部異物などの欠陥を一工程で検出できる自動検査装置...
ニコンは27日、シリコンウエハー端面の傷や欠け、製造過程で発生する膜のはがれや残留物などの欠陥個所を確認できるウエハーエッジ検査装置「WES―3000」シリーズを発売すると発表した。分解能1マイクロメ...
さらに、溶鋼を鋳型に注ぐと、固まっていない溶鋼の湯面(溶鋼を湯に例えた表現)がCC装置の振動により波を打つが、鋳込む速度を上げると、その波の振幅が大きくなり、フラックスの巻き込みなどで...
これにより、異常放電の原因となるノジュール(黒色の小突起)の発生を減らして欠陥を抑制できる。... ターゲット材はスパッタリングを繰り返すごとに表面にノジュールが増殖して欠陥が発生しや...
【京都の“欠陥”】 2013年以降の温室効果ガス排出削減の国際枠組み(ポスト京都議定書)の最大の課題は、経済成長が続く途上国をいかに参加させるかにある。 ... 京都議...
テクノス(東京都港区、山田吉郎社長、03・3453・9111)は、オプト有限責任事業組合(LLP)(神奈川県寒川町、黒柳邦弘代表、0467・73・1643...
【横浜】レーザーテックは19日、ウエハーの処理工程で発生する表面のムラや、微細な寸法欠陥などを検査する装置「ワサビシリーズMR300=写真」を発売したと発表した。
また、移動しながら露光するため、同一ポイントの繰り返し露光が可能になり、マスク上のゴミなどによる露光ムラといった共通欠陥が無くなるのも特徴。
【横浜】レーザーテックは13日、ウエハー欠陥検査装置の新シリーズ「M5640=写真」を発売したと発表した。... 同装置はウエハー製造工程で形成されるキラー欠陥(デバイス性能を阻害する...
【総合判断を指導】 幸いなことに、導入された走査型電子顕微鏡が活躍して、化学成分の特定、偏析、欠陥などの調査に威力を発揮した。