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米CTI製の真空排気装置「クライオポンプ」を輸入販売したのが本格的な始まりだった。 クライオポンプは極低温冷凍機を使ってガスを凝縮させることで真空状態をつくり出す。... そんな稼ぎ...
住友重機械工業も半導体製造関連向けに、スパッタリングやイオン注入装置用に気体をため込んで排気するクライオポンプを訴求する。
【住友重機械工業/高速排気のクライオポンプ】 住友重機械工業はクライオポンプ「SICERA=写真」を提案する。
【住友重機械工業/圧縮機1台で最大11台運転】 住友重機械工業はクライオポンプ「SICERA=写真」を展示する。
半導体製造装置や超高真空装置などで広く利用されるクライオポンプについて、学習院大学の荒川一郎学長(理学部教授)らが解説。審議中のクライオポンプや高安定電離真空計の国際標準化機構(...
荏原は21年度中に、米子会社のエリオットが低温液化ガスを輸送する「クライオポンプ」の実証設備を米ペンシルベニア州で稼働する。... 日機装も同様にクライオポンプの取り組みを強化する。
住友重機械工業/圧縮機1台で最大11台運転可能 住友重機械工業はクライオポンプ「SICERA=写真」を出展する。... クライオポンプは真空ポンプの一つで排気速度が...
住重は半導体製造装置向けにクライオポンプなどを手がける。... 一方、住重が製造・販売するクライオポンプはチャンバー内を真空にするのに用いる。
液化天然ガス(LNG)受け入れ基地などでLNG移送に使用されるクライオポンプは世界シェア約5割、半導体製造装置のCMP装置は同3割強である。
住友重機械工業は15日、4月1日付で中国・上海市に極低温冷凍機(写真)、クライオポンプの販売子会社を開設すると発表した。... 13人で始動し、現地で低温冷凍機とクライオポンプの販売、...
日機装はクライオポンプに関するエンジニアリング、デザイン、生産、サービス関連の知的財産、生産設備などをアトラスコプコから譲り受ける。
これにより、ガスを吸着するクライオポンプなしで、余計なガスと漏れを区別して計測できる。 ... この際、クライオポンプで余計なガスを吸着して計測するが、コストが高く、手間がかかること...
【住友重機械工業/真空排気装置2種を出展】 住友重機械工業はクライオポンプ(真空排気装置、写真)の「SICERA(シセラ)」と「SIGNET...
アイシン精機のマルチ型クライオポンプは、複数台のポンプユニットを一台で高効率に稼働できる。独自技術の「位相シフト回路」を採用することで、クライオポンプ間の性能均衡化と省エネを実現。
【アイシン精機/複数のポンプ高効率で稼働】 アイシン精機のマルチ型クライオポンプは複数台のポンプユニットを高効率で稼働できる。性能バランスをコントロールする独創技術「位相シ...
