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住重が米フェラン買収、半導体装置向け真空ゲージに参入
(2017/5/29 05:00)
住友重機械工業は、半導体製造装置向け真空ゲージを開発する米フェラン・テクノロジーを子会社化した。住重は半導体製造装置向けにクライオポンプなどを手がける。フェラン...
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(2017/5/29 05:00)
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