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コフロック、半導体装置の洗浄液削減 流量制御クリーンバルブを開発 （2023/12/12 機械・ロボット・航空機２）
ソレノイドアクチュエーター駆動のダイヤフラム式流量制御バルブ「KSFV―100」として商品化し、2024年1月にも市場投入する。... 流量制御用とシャットオフ用でバルブを200台ずつ使う半導体洗浄装...
コフロック、半導体洗浄装置向け流量バルブ開発 シールレスで微小残留なし （2022/12/8 機械・ロボット・航空機１）
【京都】コフロック(京都府京田辺市、小島望社長)は、半導体洗浄装置を主ターゲットに業界初のシールレス構造で、パーティクル(微小異物)残留も...
