【京都】SCREENセミコンダクターソリューションズ(京都市上京区、岡本昭彦社長)は、200ミリメートルウエハーに対応する枚葉式洗浄装置の新製品を12月中に発売する...

(京都・友広志保) SCREENHDの彦根事業所は直径300ミリメートルのウエハーに対応した枚葉式洗浄装置などを生産する。... Sキューブ3、4、5では3棟にまたが...

【京都】SCREENホールディングス(HD)は22日、富山県高岡市で建設を進めていた半導体製造装置の部品工場が完成し、23日から稼働すると発表した。... 同社は中長期での同装置需要の...

この3年半で日本の材料メーカーや半導体装置メーカーの韓国事業にどのような影響が出たのか。... 特に半導体製造の洗浄工程などに使われる高純度フッ化水素は、韓国で日本製から現地生産品への切り替えを図る動...

【京都】SCREENホールディングス(HD)は彦根事業所(滋賀県彦根市)の敷地内に整備中だった、半導体製造装置の新工場「Sキューブ4」を竣工し稼働し...

今後、両者でSCREENが手がける洗浄装置やコーターデベロッパーの性能などを検証。... 9日の契約締結式でルク・ファンデンホーブimec最高経営責任者(CEO)は、日本で研究開発施設...

【京都】SCREENホールディングスは7日、最大毎時1200枚の実用処理が可能で省スペース化も実現した枚葉式洗浄装置「SU―3400=写真」を発売したと発表した。...

【京都】SCREENホールディングス(HD)は彦根事業所(滋賀県彦根市)に半導体製造装置(SPE)の新棟を建設、2023年1月に稼働する。.....

【京都】SCREENホールディングスは8日、実用処理能力を同社従来品比で25%向上させたスクラバー方式の枚葉式洗浄装置など2機種を発売したと発表した。... スクラバー方式では業界初の最大16...

【京都】SCREENホールディングス(HD)は直径200ミリメートルまでのウエハーサイズ対応で、構造をシンプルにして価格を抑えた枚葉式洗浄装置「SP―2100=写真」を発売した...

第5世代通信(5G)サービスの普及をにらんだ同装置の受注増に備えるのが目的。 ... 新工場は主に枚葉式洗浄装置を製造する計画。白瀬社長は「枚葉式洗浄装置の売り上げは...

2016年の受注高は高い水準で推移し、17年もポジティブにみている」 ―主力の洗浄装置の事業環境は。 「台数では枚葉式がバッチ式洗浄装置を上回るが、半導体が立体的に...

【京都】SCREENホールディングスの事業会社であるSCREENセミコンダクターソリューションズ(京都市上京区)は1日、半導体ウエハーの枚葉式洗浄装置で処理能力を高めた機種「SU―33...

SCREENセミコンダクターソリューションズは、ベルギーのルーベン市に拠点を置く研究機関、imecのナノエレクトロニクス研究開発センターとの間で半導体製造装置の洗浄やエッチングなどに関する共同の研究開...

【京都】大日本スクリーン製造は28日、直径200ミリメートル以下の超薄型ウエハー向けの枚葉式洗浄装置「SU―2000=写真」を12月5日に発売すると発表した。最先端300ミリウエハー向けの最新...

主力である半導体ウエハーを1枚ずつ洗う枚葉式洗浄装置の開発コンセプトを語る。 ... そのため「一度に多くのウエハーを洗浄するバッチ式もあるが、(より洗浄度の高い)枚葉式の引き...

【洗浄装置】 洗浄装置では微細化の進展でウエハーを一枚ずつ処理する枚葉式の需要が増えている。枚葉式洗浄装置では世界シェア70%以上を握る大日本スクリーン製造が処理能力を従来に...

【京都】大日本スクリーン製造は24日、回路線幅十数ナノメートル(ナノは10億分の1)の超微細な半導体ウエハーへの対応と高い処理能力を両立させた枚葉式洗浄装置「SU―3200=写...

【京都】大日本スクリーン製造は半導体ウエハーを1枚ずつ洗浄する枚葉式洗浄装置で、ウエハー上の液流動を解析した数値シミュレーション技術を確立した。... 洗浄装置は半導体ウエハーの大口径化や微細化が進む...

【京都】大日本スクリーン製造は回路線幅40ナノメートル(ナノは10億分の1)台プロセス以降の次世代半導体製造の洗浄工程向けエッチング技術を開発した。... 表面や裏面、ベベル部などを洗...