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伊LPE、SiCエピ成膜装置を投入 （2019/10/3 電機・電子部品・情報・通信１）
伊LPE(ロンバルディア州)は2日、パワー半導体向けの枚葉式炭化ケイ素(SiC)エピ成膜装置「PE1〇6A(イチマルロクエー)」を日本市場に投入すると発...
