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記事検索結果
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【研究開発助成/奨励研究助成 若手研究者(レーザプロセッシング)】▽久志本真希/名古屋大学工学研究科「極短共振器を用いた深紫外半導体レーザーの光学特性解明」...
半導体後工程で需要狙う スペクトロニクス(大阪府吹田市、長岡由木彦社長)は、超微細加工に活用できる「短波長・超短パルスレーザー」を手がける。......
ソニーセミコンダクタソリューションズ(神奈川県厚木市、清水照士社長)は29日、業界最多の有効画素数となる約532万画素の短波長赤外(SWIR)画像セ...
「我々は超短パルス光源を開発し、彼が率いるドイツ側は短波長のアト秒(アトは100京分の1)軟エックス線(X線)を発生させ、成果を挙げた」という。
波長1000ナノ―2500ナノメートル(ナノは10億分の1)の短波長赤外領域の反射光が有機物や水分情報を反映することに着目し、乾燥試料を対象に使われる分光反射率計測を野外条件でも適用で...
そこで信号を基本波長の長波長側と短波長側に分けて、それぞれ増幅した。 長波長側は7・56テラヘルツ、短波長側は6・60テラヘルツで、合わせて14・16テラヘルツの帯域を増幅した。
電子回路の微細化に対応するため、リソグラフィーの露光波長の短波長化が進み、現在は波長13・5ナノメートル(ナノは10億分の1)の極端紫外線(EUV)を使ったEUVリソグ...
QSTでは、このような量子技術の今後の微細化における重要性に注目し、加速器技術による大出力、短波長のビヨンドEUV光源を用いた、高コヒーレンス光による干渉露光技術や、超短パルス光によるフォトレジストの...
ウエハー表面に照射するレーザーをより高出力・短波長にするなどして、最先端半導体の量産で必要とされる19ナノ(ナノは10億分の1)メートル以上の大きさの異物を見分ける速度(スルー...
YAGなどの短波長レーザーで、毎秒8000ミリメートルの印字が可能という。
光の波長が短いほど、より微細なパターンを正確に描けることから、光源の短波長化が進んでいる。... QSTはEUV光源として、波長13・5ナノメートルのX線自由電子レーザーで発生させる波長13・5ナノメ...
新規光学系による視野拡大と光源の短波長化で、検出感度を維持しながら検査速度をミドルエンドマスク用従来機種比3倍に向上した。
東京工業大学の村上陽一准教授と産業技術総合研究所の鎌田賢司上級主任研究員は、光を短波長側にシフトさせる「フォトン・アップコンバージョン(UC)」の理論体系を構築した。
【シングルナノ】 同社は半導体回路の微細化に伴う光源の短波長化に合わせ、次世代技術とされる極端紫外線(EUV)を含むあらゆる光源に対応してきた。... フォトレジスト...
1000ナノメートル以上の短波長赤外を高精度、低価格で撮像できるイメージセンサーが2020年に市場投入され、同センサーを用いたカメラに対応する検査用照明が求められていた。