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記事検索結果
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半導体製造のエッチング加工をはじめ、腐食性ガスを使う装置やラインに適する。装置に複数あるチャンバーへのガス供給で圧力変動が生じた時に過敏反応し、瞬間的に流量が乱れる課題を解消でき、生産の安定化を実現す...
ファナティック(東京都千代田区、内義弘社長)は、硫化水素などの腐食ガスにも耐久性のある真空構造の産業用コンピューター「シールド・エッジ」を開発した。... 性能評価...
同センターは高温高湿、腐食ガス、塩水、オゾンといった環境ストレスに対応可能な試験装置を保有する。
千葉ラボラトリー(千葉県袖ケ浦市)で行っているガス腐食試験に、硫黄ガス試験を追加した。硫黄ガスは硫化水素や二酸化硫黄などに比べ銀や銅を腐食させる力が強い。... また、多様な腐食試験に...
腐食ガスなどの雰囲気に耐えるセラミックス製で、ウエハーを均一に加熱する線状発熱体を内蔵する。
石炭ボイラの蒸発管は火炎の揺らぎや灰の脱着による温度変動での繰り返し熱応力や、燃焼ガスに含まれる硫化水素などの腐食ガスによりファイヤークラックが発生する。... 石炭5種類、バーナーパターン3種類を組...
価格競争力を高めたい半導体製造装置のガス分析機器、バイオ産業での発酵装置、焼却炉や焼成炉など、これまで同社が取引の少なかった市場を開拓する。 ... 酸素など一般ガス、塩素など腐食ガ...
その他、ベンチトップ型ガス分析計、各種真空計、潤滑油不要のドライポンプなどを展示する。 ... 腐食ガス環境下もセンサー寿命を延ばせる。