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薬液の温度計測・制御一括 クラボウ、半導体洗浄装置向けユニット （2020/7/1 素材・医療・ヘルスケア）
クラボウは、薬液の温度を非接触で計測する小型サーモカメラと、薬液の温度制御を行うヒーターを組み合わせたユニットを開発した。半導体の洗浄装置向けで、薬液の温度計測と制御を一緒に行うことで、高品質な製品の...
クラボウ、半導体洗浄向け小型サーモカメラ開発 薬液温度を非接触計測 （2019/4/11 電機・電子部品・情報・通信２）
クラボウは半導体洗浄装置向けに、表面処理の薬液温度を非接触で直接計測する小型カメラ機器「In―Situ(インサイチュ)小型サーモカメラ」を開発した。... 同社によると、高濃度薬品処理...
