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クラボウ、半導体洗浄向け小型サーモカメラ開発 薬液温度を非接触計測
(2019/4/11 05:00)
クラボウは半導体洗浄装置向けに、表面処理の薬液温度を非接触で直接計測する小型カメラ機器「Ｉｎ―Ｓｉｔｕ（インサイチュ）小型サーモカメラ」を開発した。薬液と処理対...
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(2019/4/11 05:00)
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