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【京都】堀場アドバンスドテクノ(京都市南区、西方健太郎社長)は、半導体製造で用いられる薬液の3項目を同時測定する薬液モニタリングシステム「CS―1000=写...

堀場、京都に新工場 半導体装置用MFC増産 (2023/12/13 機械・ロボット・航空機1)

170億円投資 【京都】堀場製作所は12日、京都府福知山市に半導体製造装置向けのマスフローコントローラー(MFC)や薬液濃度モニターなどを生産する...

水計測事業を担う堀場アドバンスドテクノは薬液濃度モニターを手がける。

堀場製作所、通期売上高を上方修正 半導体セグメント (2022/8/15 機械・ロボット・航空機)

22年1―6月期の同セグメントは、マスフローコントローラーや薬液濃度モニターなどの販売が大幅に伸長。

現状はマスフローコントローラーと薬液濃度モニターが半導体事業の2本柱だが、他事業で展開していて半導体業界にも提案できる多数の測定機器をまとめ、3本目の柱にする。

水電解セル評価装置や濃度分析計といった水素を作る領域向けから、水素ステーションの水素脆化評価や材料分析装置などの貯蔵領域、燃料電池車の電池や電解質、触媒評価向け装置をはじめ水素を使う領域向けまでを扱う...

【名古屋】東海染工は自社開発し1970年代から販売している薬液濃度制御装置を、同業の染色加工以外の業界に拡販する。薬液濃度を自動で常時測定し供給する装置で、薬液管理コストの低減が図れる。... 同装置...

【京都】堀場製作所は、半導体製造で使うリン酸の濃度管理を効率化する「光ファイバー式熱リン酸濃度モニター CS―620F」を発売した。同社既存の薬液濃度モニターでは140―170度Cの高温リン酸...

堀場製作所、薬液濃度モニター 配管にかぶせて測定 (2019/12/5 機械・ロボット・航空機2)

【京都】堀場製作所は半導体製造工程で使う薬液を非接触測定する薬液濃度モニターの新型「CS―900=写真」を11日発売する。薬液が通る配管にかぶせるだけで測定可能なセンサーユニットを開発した。....

それぞれ独立した工場とすることでメッキ浴槽や機器、道具における薬液混入を排除している。... 槽ごとに電流や電圧、薬液濃度などのコンピューター管理が可能。

【京都】堀場製作所は15日、半導体製造での洗浄やエッチングで用いる硝酸やフッ化水素酸などの薬液を8成分同時に測定できる薬液濃度モニター「CS―700=写真」を2016年1月に発売すると発表した...

【京都】堀場製作所は25日、最先端半導体の製造に適した薬液濃度モニター「CS―600F=写真」を開発、受注を始めたと発表した。... 同製品は半導体製造での洗浄、エッチング工程で薬液の濃度を管...

もっともニーズが強いのは、メッキ・塗料工場の薬液濃度管理のための元素分析だ。

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