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高知工科大など、アモルファス金属酸化物薄膜を生成 室温で厚さ2ナノメートル （2023/9/14 科学技術・大学１）
住友重機械が成膜装置の開発、リガクが超薄膜の構造評価を担当した。 ... ガラス基板と超薄膜との界面に金属粒が析出しないように膜成長初期から酸素分子ガスを過剰に成膜室に導入するプロセ...
輝け!スタートアップ(121)エアメンブレン グラフェン応用に手応え （2022/5/6 中小・ベンチャー・中小政策）
エアメンブレン(茨城県つくば市、古賀義紀社長)は、グラフェンなど原子レベルの厚みの超薄膜材料(2次元材料)の産業応用を目指す。... グラフェンは、鉛筆の芯に使われる黒...
