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大陽日酸、排ガスを水素で燃焼処理 半導体向け装置発売 （2024/6/18 素材・建設・環境・エネルギー２）
日本酸素ホールディングス(HD)傘下の大陽日酸は、水素ガスを燃料とする半導体向け燃焼式排ガス処理装置「Blisters Burner H2(...
