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技術で未来拓く 産総研の挑戦(232)パターン側壁の可視化 （2022/10/13 大学・産学連携）
一般的なLER計測では、高スループットの利点をもつ走査電子顕微鏡(SEM)が使われるが、SEM像に含まれるノイズなどが原因で計測の精度に課題がある。 ... また、S...
ニュース拡大鏡/分析機器・科学機器各社、生命科学の成長後押し （2017/9/12 ヘルスケア）
全体像を見ながら直感的に見たい部分の拡大や元素分析、粗さの測定ができる。 ... 日本電子の走査型電子顕微鏡(SEM)「JSM―IT500HR」は、観察位置を素早く見...
日本電子、微細試料向け複合ビーム加工観察装置 （2017/1/17 機械・ロボット・航空機２）
「JIB―4700F=写真」は、集束イオンビーム加工装置(FIB)と走査型電子顕微鏡(SEM)を組み合わせた装置。微細試料を観察しやすいようにFIBで加工し、S...
