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このSiGe結晶で半導体基板を作れば、コンピューターの演算速度を2―10倍に向上できると期待され、多くの企業が注目している。 ... ISSで得られた結晶の成長メカニズムの知見を基に...
二酸化ケイ素(SiO2)上にシリコン層が形成されたSOI基板上に歪みを加えた歪みSiGeを結晶成長させた構造。異なる原子サイズのSiとGeを結晶成長させる段階で、圧縮歪みが生じることは...