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VACUUM2020真空展 ONLINE/注目の製品・サービス(3) （2020/10/16 機械・航空機）

静電気測定器(写真)や静電気除去用の真空紫外線(VUV)イオナイザを展示。

中部電、電力設備の氷雪成長防止表面改質技術開発（2019/12/13 建設・生活・環境・エネルギー）

SAMのコーティングでは、真空紫外光(VUV)でアルミ母材上に前処理してから熱化学気相蒸着(CVD)でSAMを作製した。

ウシオ電機、機能絞った露光装置コスト抑制（2019/6/6 電機・電子部品・情報・通信２）

ウシオ電機は、真空紫外平行光(VUV)によるパターニングに機能を限定した露光装置「VUVエクスポージャー(SUS971)=写真」を7月に発売する。... 親水化...

王子HDとウシオ電機、CNF透明シート上に微細パターニング形成（2019/6/4 素材・医療・ヘルスケア）

王子HDのCNF透明シート「アウロ・ヴェール」と、ウシオ電機のプリンタブルパターニング用光源ユニット「VUVアライナー」を組み合わせることで、CNF透明シート上に微細なパターニングを形成した...

2017真空展・紙上プレビュー(中)日本電子ほか（2017/8/29 機械・ロボット・航空機２）

真空・減圧環境下で静電気に関する悩みを解決するため、静電気測定から静電気除去VUVイオナイザ(写真)、剥離帯電防止コーティングなどを提案する。

ウシオ電機、フォトレジスト不要のVUVユニット（2014/2/24）

ウシオ電機はフォトレジスト不要で微細なパターニングが形成できる真空紫外平行(VUV)ユニットを4月に研究施設向けに販売する。

ウシオ電機はフォトレジストを使わずに直接フレキシブル基材などに微細なパターニングができる真空紫外平行(VUV)ユニットを開発した。

【浜松】浜松ホトニクスは29日、真空容器内での薄膜半導体ウエハー搬送時に静電気を除去する装置「VUVイオナイザ=写真」のサンプル出荷を12月10日に始めると発表した。