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ウシオ電機、機能絞った露光装置 コスト抑制
(2019/6/6 05:00)
ウシオ電機は、真空紫外平行光（ＶＵＶ）によるパターニングに機能を限定した露光装置「ＶＵＶエクスポージャー（ＳＵＳ９７１）＝写真」を７月に発売する。従来機種から機...
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(2019/6/6 05:00)
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